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洁净室综合性能检验方法 E.1 风量和风速的检测 E.1.1 风量风速检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。 E.1.2 风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量被测风口、风管尺寸。 E.1.3 测定室内微风速仪器的最小刻度或读数不应大于0.02m/s,一般可用热球式风速仪,需要测出分速度时,应采用超声波三维风速计。 E.1.4 对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高至阻隔面之上0...

案例介绍

洁净室综合性能检验方法

E.1 风量和风速的检测
E.1.1 风量风速检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。
E.1.2 风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量被测风口、风管尺寸。
E.1.3 测定室内微风速仪器的最小刻度或读数不应大于0.02m/s,一般可用热球式风速仪,需要测出分速度时,应采用超声波三维风速计。
E.1.4 对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高至阻隔面之上0.25m;水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直于地面的截面,截面上测点间距不应大于1m,一般取0.3m。测点数应不少于20个,均匀布置。
E.1.5 对于非单向流洁净室,内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量,为测定回风口或新风口风量,也可用风口法。
E.1.6 用任何方法测定任何洁净室风口风量(风速)时,风口上的任何配件、饰物一律保持原样。
E.1.7 选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面上,均匀划分小方格,方格边长不大于200mm,在方格中心设测点。对于小风口,最少测点数不少于6点。也可采用锥形套管,上口与风口内截面相同或相近,下口面积不小于上口面积的一半,长度宜大于1.5倍风口边长,侧壁与垂直面的倾斜角不宜大于7.5°,以测定截面平均风速,乘以测定截面净面积算出风量(图E.1.7)。

E.1.8 选用带流量计的风量罩法时,可直接得出风量。风量罩面积应接近风口面积。测定时应将风量罩口完全罩住过滤器或出风口,风量罩面积应与风口面积对中。风量罩边与接触面应严密无泄漏。
E.1.9 对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法通过毕托管测出动压,换算成风量。测定断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力不少于5倍管径或5倍大边长度。在局部阻力部件前者,距离局部阻力不小于3倍管径或3倍大边长度。
E.1.10 对于矩形风管,测定截面应按奇数分成纵、横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小截面宜接近正方形,边长最好不大于200mm,测点设于小截面中心。小管道截面上的测点数不宜少于6个。
对于圆形风管,应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。
可在风管外壁针对划分的每行方格中心上开孔,便于插入热球风速仪测杆或毕托管。用毕托管时应先测定动压,然后由下式确定风量:

E.1.11 测新风量、回风量等负压风量时,如受环境条件限制,无法采用套管或风量罩,也不能在风管上检测时,则可用风口法。风口上有网、孔板、百叶等配件时,测定面应距其约50mm,测定面积按风门面积计算,测点数同E.1.7条的规定。对于百叶风口,也可在每两条百叶中间选不少于3点,并使测点正对叶片间的斜向气流。测定面积应按百叶风口通过气流的净面积计算。

E.2 静压差的检测
E.2.1 静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在最大排风量条件下进行,并宜从平面上最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。
E.2.2 对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
E.2.3 有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。

E.3 单向流洁净室截面风速不均匀度的检测
E.3.1 测定截面、测点数和测定仪器应符合E.1.3条和E.1.4条的规定。测定截面也可按规定高度确定。
E.3.2 测定风速宜用测定架固定风速仪,不得不手持风速仪测定时,手臂应伸直至最长位置,使人体远离测头。

E.4 微粒计数浓度的检测
E.4.1 室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人,面积超过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数。人员必须穿洁净服,应位于测点下风侧并远离测点,动作要轻,保持静止。
E.4.2 0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求:
1 当采用光学粒子计数器(OPC)测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时,应按本规范第16.4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10%,粒径设定值的浓度允许误差应为±20%,并应按所测粒径进行标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T6167的规定。
2 测点数可按式(E.4.2—1)求出:

3 每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室,应适当增加采样点,并得到用户(建设方)同意并记录在案。
4 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度(取距地0.8m,或根据工艺协商确定),当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面。
乱流洁净室(区)内采样点不得布置在送风口正下方。
5 如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定。
6 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据“非零检测原则”由下式求出:

7 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值。
8 当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时,可增加测点数。
9 测单向流时,采样头应对准气流;测非单向流时,采样头一律向上。
10 当要求0.1μm~5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5%时,水平采样管长度也应符合附录D.3.6条的规定。
11 若采样口流速与室内气流速度不相等,其比例应在0.3:1~7:1之间。
12 当因测定差错或微粒浓度异常低下(空气极为洁净)造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时,允许将该异常值删除,但在原始记录中应注明。
每一测定空间只许删除一次测定值,并且保留的测定值不少于3个。

13 对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测,可采用顺序采样法,即将每次测定结果标注于图E.4.2上,当标注点落入不合格区时,即停止检测,结果为不达标;当标注点落入合格区时,停止检测,结果为达标;当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到表E.4.2—2的最小采样量,累计微粒数仍小于20,即停止检测,结果为达标;当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20,即停止检测,结果为不达标。

E.4.3 对小于0.1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器(CNC或CPC)加静电式分级器(迁移率分析仪) (DMA)、凝结核计数器(CNC或CPC)加扩散式分级器(DB)等,但必须有明确的性能说明书,或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50%,采样点数目应与E.4.2条对0.1μm~5μm的要求相同。
E.4.4 大于5μm的大(宏)微粒的检测应符合下列要求:
1 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定:
1)粒子计数器应经过大微粒的标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定,应采用不小于28.3L/min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L/min的计数器;
2)当用28.3L/min计数器时,水平管不应长过0.5m,当用2.83L/min计数器时,原则上不宜有水平管;
3)采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速。
2 用过滤器采集、显微镜检测时,应遵守下列规定:
1)过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L/min,
当过滤器采样口直径为47mm时,采样流量不小于28.3L/min。对于非单向流洁净室,总采样量不小于28.3L/min,对于单向流洁净室,总采放量不小于280L/min。
取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上(图E.4.4),采样面向上,放进有50℃左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯,大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时,再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出,再将盖玻片反向固定在载物片上(用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开),熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。

2)计数时应把制好的标本片固定在显微镜(100倍)工作台的适合位置上,一张标本片上计数总面积不小于0.02×4mm2,在检测中应不断调整。
3)测定之前,必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出:


E.5 温湿度的检测
E.5.1 无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求:
1 室内空气温度和相对湿度测定之前,空调净化系统应已连续运行至少8h。
2 温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计;湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围,应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的最小刻度不宜高于0.4℃,湿度检测仪表的最小刻度不宜高于2%。
测点为房间中间一点,应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后,还应同时测出室外温湿度。
E.5.2 有恒温恒湿要求房间的温湿度检测应符合下列要求:
1 选择以下检测仪器:
1)温度计:采用铂电阻、热电偶或其他类似温度传感器组成测温系统;
2)湿度计:可采用干湿球温度计或其他固态湿度传感器组成测湿系统。
2 检测方法与步骤如下:
1)室内空气温度和相对湿度测定之前,空调系统应已连续运行至少12h;
2)根据温度和相对湿度波动范围(表E.5.2),应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。根据由低到高的精度,测定宜连续进行(8~48)h,每次测定间隔不应大于30min;
3)室内测点可在送回风口处或在恒温恒湿工作区具有代表性的地点布置。测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m、距地0.8m的同一高度上;也可以根据恒温恒湿区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平面上。
具体测点数应符合表E.5.2的规定。

区域温差、区域相对湿度差:按测点中最低或最高的一次测定值与各测点平均温度和平均相对湿度的差值的测点数,占测点总数的百分比,整理成累计统计曲线(图E.5.2—2)。

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