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集成电路无尘室净化工程:电子洁净厂房洁净室建设 CEIDI西递

  根据中国电子学会预测,到2020年,我国无尘室工程行业市场规模将由2015年的767.55亿元增至1,412.33亿元,年均复合增长率在12.97%左右。行业市场规模的持续扩大为行业领先企业提供了巨大的发展机遇和广阔的市场前景,无尘室工程作为半导体和面板行业的前期投资将维持高景气度。我们都知道,集成电路工艺成本很高,其主要原因之一就是需要在无尘室中进行制造。在制造过程中如果存在微小粒子,会引起微电子元器件和电路缺陷,因...

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内容介绍

  根据中国电子学会预测,到2020年,我国无尘室工程行业市场规模将由2015年的767.55亿元增至1,412.33亿元,年均复合增长率在12.97%左右。行业市场规模的持续扩大为行业领先企业提供了巨大的发展机遇和广阔的市场前景,无尘室工程作为半导体和面板行业的前期投资将维持高景气度。我们都知道,集成电路工艺成本很高,其主要原因之一就是需要在无尘室中进行制造。在制造过程中如果存在微小粒子,会引起微电子元器件和电路缺陷,因此半导体芯片的制造必须在无尘室中进行。随着图形尺寸的缩小,杀手微粒(影响元器件特性的关键微粒)的尺寸也随着缩小,越小的图形尺寸就需要纯净度更高的无尘室。本文我们就电子电力集成电路生产车间为研究对象,探讨相关无尘室建设的内容。集成电路无尘室、芯片生产车间和磁盘制造车间这三大类车间是电子制造业里需要建设无尘室的部分。这也是电子生产行业的特殊写照。电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为苛刻,必须严格控制微粒/浮尘,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等内容做出标准要求,这也就是我们业内常说的工业无尘室,其目的就是为了电子行业一些精度高的产品在合适的环境下进行生产,以提高产品的合格率、性能、寿命等 。>>>点击此处,在线咨询

  当然,电子厂房也不会专门只设计装修一个无尘室,大多是在厂区新建或者升级改造的形势下,做整厂的装修计划。这里面就有区分无尘受控洁净区和普通区域。

电子制造厂房净化工程平面分区:

1、洁净生产区

2、洁净辅助区

3、办公管理区

4、设备区

      像我们前面说的无尘室就会建设在洁净生产区,在这部分工作区域内,工作人员需要做严格的隔离措施进到无尘室空间工作(穿无尘服)。因为在无尘室受控条件内生产的电子产品多为高精度的电子元器件,仪器设备对环境要求较高,不起眼的微尘都会影响到精密电子产品的质量,穿无尘服可以防止人体身上的尘埃进入到空气中,保障无尘车间的清洁度。电子制造无尘室按照工艺要求一般会分千级、万级或十万级,譬如末端工艺的LCD制屏无尘车间。背光屏冲压无尘车间、组装无尘车间洁净度一般设为万级或十万级,不需要达到千级。总的来说在无尘车间有多种工艺工序时,可以根据工艺的不同要求,采用不同的空气洁净度标准进行建设,很多甲方也是委托CEIDI西递的设计团队为其规划分区,以谋求最大的经济效益。要使电子无尘室洁净度等级达到相应要求,风量、温度、湿度、压差、设备排风等都要按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,同时对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。以电子万级无尘室为例,电子制造万级无尘室相关技术指标如下:

1、电子制造厂万级无尘室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)、

2、电子制造厂万级无尘室温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊无尘车间有相关温湿度规定)。

3、电子制造厂无尘室垂直流无尘室满布比不应小于60%,水平单向流无尘室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

4、电子制造厂无尘室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

5、电子制造行业万级无尘室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

6、根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘室的送风量,保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

7、电子制造行业无尘室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。

无论哪种无尘车间都是依据生产工艺的基础来做设计,再结合甲方的预算做设备选型,CEIDI西递这类洁净工程EPC总包公司一般会结合甲方属意的设备清单(品牌),做全面评估,综合工艺、空间等各种因素来确定采用何种净化方案和净化设备选型等内容。譬如:要求不高看中初投资低的甲方,可以选用柜机+FFU。要空气处理效果最大化、噪音低、厂房面积也比较大且预算不吃紧的,可以设计组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口的方案,并按技术评估后的方案为甲方推荐合理的设备选型。经技术调整后的搭配方案不仅为甲方后续稳定运行打好基础,可能也为甲方节省下了不必要的开支。

  电子制造无尘室是工业无尘室中非常富有技术性的净化工程,建设单位的技术水平会直接影响整个工程的优劣。所以电子制造行业的净化工程须谨慎对待,与专业的洁净工程EPC集成服务商合作会是相对保险的良策。

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